实用新型已授权

一种可调节式硅片载板定位装置

📄 申请号：CN202422250983.6 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2024-09-13

公开号

CN223038928U

公开日

2025-06-27

申请人

厦门市俊亦精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_68

IPC 分类号

H01L21_68 , H01L21_687 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备硅片载板精密定位机构

应用场景

半导体晶圆制造, 硅片加工, 光伏电池生产, 自动化产线, 精密搬运

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摘要

本实用新型公开了一种可调节式硅片载板定位装置。其中，包括：载板和若干定位件，若干所述定位件可前、后移动地设置于载板内；所述载板一端设置有用于使硅片插入载板内的插口；还包括若干定位块，若干所述定位块沿定位件长度方向间隔分布于定位件的上端面，相邻两所述定位块之间形成有用于放置焊条的定位槽；所述定位件至少一端面设置有第二限位槽，当硅片插设于载板内时，所述第二限位槽与硅片相抵接；当硅片通过插口插入载板内后，通过滑动定位件使第二限位槽卡入硅片边缘，第二限位槽与硅片边缘的紧密配合，不仅实现了对硅片的限位，还增强了硅片在载板上的固定效果；定位槽的设计使得焊条在焊接过程中能够保持固定的位置，提高焊接质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种便于安装的磨床导轨

当前第 / 件

一种带蓝牙音箱功能的氛围香薰灯

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_68)

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