发明专利已授权

一种芬顿与超声辅助变刚度气压砂轮抛光SiC曲面方法

📄 申请号：CN201810280944.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-04-02

公开号

CN108346567B

公开日

2021-02-26

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_304

IPC 分类号

H01L21_304

技术画像

所属领域

精密与超精密加工精密与超精密加工超声辅助加工化学机械抛光

应用场景

碳化硅材料加工, 光学元件加工, 半导体衬底抛光, 航空航天零部件加工, 硬脆材料精密加工

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摘要

一种芬顿与超声辅助变刚度气压砂轮抛光SIC曲面方法，先将SIC工件不需要加工的表面套上隔绝材料，然后完全浸没在装有芬顿试剂的反应池中，待一段时间反应，在SIC工件的表面生成等厚均匀的SIO2表层后，将SIC工件取出，用限位装置固定在工作台上，通过浮动连接装置保证发生反应后生成的SIO2表层均匀去除；通过机械臂可以调节工具系统相对于于工件的位置及姿势，通过改变进入变刚度气压砂轮的压缩空气的气压可以调节变刚度气压砂轮的刚度；最后使用超声振动装置辅助变刚度气压砂轮对自由曲面的SIC工件进行恒力随形抛光。本发明提出了一种高效、低成本的芬顿与超声辅助变刚度气压砂轮抛光SIC曲面方法。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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