发明专利已授权

用于单面湿法刻蚀的手持夹具

📄 申请号：CN202010710198.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-07-22

公开号

CN112071800B

公开日

2024-03-22

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , B25B11_00 ,

技术画像

所属领域

湿法刻蚀湿法刻蚀夹具设计半导体制造工艺

应用场景

半导体制造, 印制电路板加工, 微机电系统制造, 精密加工

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摘要

本发明公开了用于单面湿法刻蚀的手持夹具。现有湿法刻蚀加工设备不适用于小批量原型器件的制备。本发明包括下层结构、上层结构、手柄。下层结构中下层本体表面开设外圈密封槽和内圈密封槽，内置外圈密封圈和内圈密封圈，并开设下层螺纹孔。上层结构中上层本体上开有晶圆定位槽，晶圆定位槽底开有刻蚀液通孔，上层本体开设有上层螺纹孔和手柄安装孔。使用中，将需要刻蚀的材料晶圆置于晶圆定位槽内，下层本体与上层本体通过螺钉固定连接。本发明制造成本低，使用方便，能够较好的控制蚀刻时间，可以实现晶圆的单面蚀刻，便于在小批量、原型器件的研发过程中使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于SHADE算法的多路径多目标应急物资配送路径选择方法

当前第 / 件

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