发明专利已授权

一种一步化学气相沉积无铅全无机钙钛矿薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201910864885.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-09-09

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_02

IPC 分类号

H01L21_02

技术画像

所属领域

钙钛矿薄膜化学气相沉积钙钛矿材料薄膜材料钙钛矿薄膜

应用场景

太阳能电池, 光电探测器, 发光器件, 显示器件, 半导体器件

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摘要

本发明公开了一种使用一步化学气象沉积法合成无铅全无机钙钛矿薄膜的方法，所述方法步骤如下：将溴化铯和溴化锡粉末按照相同摩尔比分别放置在石英舟中，将装有粉末的石英舟放置在双温区管式加热炉的上游高温区；控制温度，在氩气气氛中将粉末升华为汽态，并通过高纯载气氩气在低温区的硅片衬底上沉积；完成沉积后在低温区进行加热，获得质量的无铅全无机钙钛矿薄膜。本发明制备的无铅全无机钙钛矿薄膜具有晶体质量高、无杂质相和较大尺寸，同时具有工艺简单，可重复性好，尤其适用于批量制备基于钙钛矿薄膜的半导体器件。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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