发明专利已授权

一种真空脱泡装置

📄 申请号：CN202011389707.8 📄 发布日：2026/06/15

著录项目信息

申请日

2020-12-01

公开号

CN112563166B

公开日

2024-07-16

申请人

中国计量大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_02 ,

技术画像

所属领域

真空脱泡真空脱泡真空处理设备气泡消除技术

应用场景

化工生产, 涂料油墨, 胶粘剂制造, 锂电池制造, 树脂加工

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摘要

本发明公开了一种真空脱泡装置，真空脱泡装置包括进料装置、脱泡装置、温度显示仪，所述进料装置包括水平导轨、竖直导轨、侧面板、驱动液压缸、升降液压缸、双层圆形密封板、输料架，盛料容器、滑动板、压力传感器，所述脱泡装置包括矩形腔体、载料台、底座、加热器、外壳、进气法兰、出气法兰，所述驱动液压缸固定在水平导轨的侧面板上，升降液压缸固定在竖直导轨的水平面板上，将贴合的硅片放置于盛料容器中，在真空和高温环境下去除气泡。整个脱泡过程高效有序，操作简便，实用性强。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种矿石开采用粉体振动筛选装置

当前第 / 件

电能计量配电箱

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：89 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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