发明专利已授权

一种真空脱泡设备

Name: 一种真空脱泡设备
Brand: 中国计量大学
SKU: 2020112226803
Availability: InStock

📄 申请号：CN202011222680.3 📄 发布日：2026/06/15

著录项目信息

申请日

2020-11-05

公开号

CN112490145B

公开日

2024-08-13

申请人

中国计量大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , B32B37_00 ,

技术画像

所属领域

真空脱泡真空脱泡真空技术流体处理设备

应用场景

锂电池制造, 胶粘剂生产, 涂料生产, 电子封装材料, 化工原料处理

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摘要

本发明公开了一种真空脱泡设备，包括安装架，进料装置，脱泡装置，所述进料装置包括载料板，液压缸，导轨，盛料容器，所述脱泡装置包括内腔，外腔，盲孔法兰，进气法兰，出气法兰，热电偶，所述液压缸固定于安装架底部，导轨固定于液压缸的活塞上，所述进气法兰与出气法兰均置于外腔的侧面板，所述内腔及外腔均固定在安装架上。将半导体的常用材料硅片在贴合过程中所产生的堆叠结构放置于盛料容器中，利用进料装置将其送入脱泡装置，对脱泡装置抽真空，充入惰性气体，然后加热去除硅片贴合面的气泡，整个脱泡过程高效有序，装置简便，加热温度高，密封性好，可操作性强。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN112490145B

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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