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发明专利
已授权
一种高性能晶体管及其制造方法
📄 申请号:CN201811242989.1
📄 发布日:2026/07/31
著录项目信息
申请日
2018-10-24
公开号
CN109273526B
公开日
2024-06-14
申请人
江西华讯方舟智能技术有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L29_778
IPC 分类号
H01L29_778
,
H01L23_373
,
H01L21_335
,
技术画像
所属领域
半导体器件
半导体器件
晶体管
半导体制造工艺
应用场景
集成电路, 电子设备, 功率放大, 开关电路, 射频通信
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摘要
本发明属于电子技术领域,公开了一种高性能晶体管及其制造方法,包括多晶衬底层、键合层、第一非掺杂GaN层、AlGaN层、源电极、漏电极以及栅电极;其中,键合层设置在多晶衬底层第一表面;第一非掺杂GaN层设置在键合层第一表面;AlGaN层设置在非掺杂GaN层第一表面;源电极和漏电极间隔设置在AlGaN层第一表面;栅极设置在AlGaN层第一表面的源电极和漏电极之间区域;由于通过键合和衬底移除技术将AlGaN/GaN器件转移到高导热多晶衬底材料上,有效提高了器件在高频应用时散热性能,从而提高器件及其应用的系统的可靠性;增加了产品的市场竞争力。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
吸波材料的贴合装置及方法
当前第 / 件
一种高速晶体管及其制造方法
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