本发明属于半导体技术领域,具体的说是涉及一种逆阻型氮化镓器件。本发明针对常规的逆阻型AlGaN/GaN异质结高电子迁移率晶体管与传统硅CMOS工艺不兼容以及器件制备温度高等问题,本发明提出了一种无欧姆接触的逆阻型氮化镓器件。本发明所提出的逆阻型氮化镓器件具有与传统硅工艺兼容、可低温制备等优点。
📄 2017103719354
📂 H01L29_47
👤 电子科技大学
📅 2017-05-24
本发明公开一种适用于奇次倍频的二极管,应用于平面肖特基二极管领域,针对现有的二极管奇次倍频效率低的问题,本发明的二极管,包括:衬底,制作于衬底上的金属凸台,金属凸台上形成左右两个靠近的下侧阳极金属柱,两个下侧阳极金属柱上各覆盖一层外延层,两外延层上各设有上侧阳极金属柱;还包括两个空气桥,分别连接两个上侧阳极金属柱至衬底电路;本发明的二极管为对称结构,适合于奇次倍频;其结构简单,消除了欧姆接触,有助于简化倍频器的设计过程并提高倍频效率。
📄 2019113437245
📂 H01L29_47
👤 电子科技大学
📅 2019-12-24