发明专利已授权

一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法

📄 申请号：CN202211043323.X 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2022-08-29

公开号

CN115332103A

公开日

2022-11-11

申请人

王志远

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_66

IPC 分类号

H01L21_66 , H01L21_677 , H01L21_687 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

检测装置状态检测检测装置

应用场景

半导体晶圆制造, 光伏电池片生产, 硅片热处理工艺, 石墨舟装片检测, 自动化生产检测

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法，包括支架和可转动的传送带，传送带上设置有石墨舟，石墨舟内设置有硅片；支架滑动连接有第二活动板，第二活动板两端分别连接有激光发射器和激光接收器，激光发射器和激光接收器设置在石墨舟两侧；支架转动连接有第一丝杆，第一丝杆连接有第一电机，第一电机与支架固定连接，第一丝杆配合设置有第一丝母，第一丝母与第二活动板固定连接。本发明可检测石墨舟舟片有无变形、上料有无少片、翘片、下料有无翘片、掉片等异常，发现异常后及时人工干预处理或将硅片夹取，避免不良的产生，提高产线良品率，降低生产成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250530

✅ 授权

20221129

?? 实质审查的生效：

20221111

📄 公开

一种化妆瓶及其喷头

当前第 / 件

一种木粉二氧化硅复合纳米颗粒堆积床多孔绝热材料及其制备方法

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_66)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：9 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)