实用新型已授权

一种匀流型石英舟托

Name: 一种匀流型石英舟托
Brand: 连云港亮迪石英科技有限公司
SKU: 2023224658578
Availability: InStock

📄 申请号：CN202322465857.8 📄 发布日：2025/10/13

著录项目信息

申请日

2023-09-12

公开号

CN221041090U

公开日

2024-05-28

申请人

连云港亮迪石英科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H01L21_673 ,

技术画像

所属领域

半导体设备部件半导体设备部件石英器件晶圆承载结构

应用场景

半导体晶圆制造, 扩散炉热处理工艺, 光伏电池片制造, 集成电路氧化工艺

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摘要

本实用新型涉及石英舟托技术领域，且公开了一种匀流型石英舟托，包括安装框架和石英舟托本体。该匀流型石英舟托，在贴合的过程中将安装框架顶部的卡合杆放置在连接半套壳的内弧面内，进而在两个连接半套壳贴合后，能够对卡合杆形成包裹，再利用两个连接半套壳侧面的固定板开设的螺槽来将定位螺杆螺纹转动进入实现固定，进而将安装框架及安装框架内部的第一匀流板安装在石英舟托本体的底部，通过第一匀流板保证气流的均匀流出，整个操作的过程中通过该种安装方式能够快速的实现安装，且安装的时间短，安装的步骤简易，同时在搬运的过程中也不会出现掉落的风险，能够根据实际的需求选择是否进行安装使用，整体操作的灵活性高。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN221041090U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有废料回收结构的纸盒裁切装置

当前第 / 件

一种塑料包装用品的剪切设备

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