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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202121229355.X | 专利名称: | 一种用于铬腐蚀的工件 |
申请日: | 2021-06-02 | 申请/专利权人 | 无锡市芯飞通光电科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区清源路20号立业楼C505 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67分类检索 其他专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2021-12-24 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN215299194U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本实用新型公开了一种用于铬腐蚀的工件,包括主体、转动组件和喷淋机构,转动组件,其安装在所述主体的内侧中部,喷淋机构,其设置在所述主体的内侧底部。该用于铬腐蚀的工件,与现有的装置相比,通过夹持板,可以对晶圆的侧面进行固定,从而可以使上下表面暴露以方便进行喷淋,通过防滑垫,可以增大与侧面之间的摩擦力,从而在安装时防止物件发生滑动脱落,同时可以对晶圆进行保护,避免在固定时发生夹损,通过第二电机,可以带动放置盘进行翻转从而在一面加工好后,可以翻转到另一面进行喷淋,从而可以减少人工操作的时间,以此可以提高工作的效率,同时可以避免经常人工调整容易使物件表面造成损伤,通过储液箱,可以将铬腐液进行储存。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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