发明专利审查中

一种导电柱的激光形成方法

📄 申请号：CN202110058795.1 📄 发布日：2026/03/05

著录项目信息

申请日

2021-01-19

公开号

CN112735957A

公开日

2021-04-30

申请人

福唐激光(苏州)科技有限公司

法律状态

授权未缴费

专利类型

发明

主分类号

H01L21_60

IPC 分类号

H01L21_60

技术画像

所属领域

激光加工激光加工半导体封装微电子制造

应用场景

半导体封装, 电子器件制造, 集成电路互连, 三维封装

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明提供了一种导电柱的激光形成方法，其利用激光对导电柱的第二端进行局部退火工艺，以形成具有保形功能和防止漏电功能的金属硅化物层，然后再进行刻蚀形成露头结构。后续在导电柱的第二端形成焊球时，该金属硅化物的硅材料进入焊球中可以保证焊球的接合可靠性且能够抑制氧化。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于多尺度正交Transformer的医学图像分割方法

当前第 / 件

一种餐盒售货机的高效出餐装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_60)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

¥21000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：106 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)