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| 专利/申请号： | CN202110058795.1 | 专利名称： | 一种导电柱的激光形成方法 |
| 申请日： | 2021-01-19 | 申请/专利权人 | 福唐激光(苏州)科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506 |
| 专利状态： | 授权未缴费 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/60 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-04-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN112735957A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 其他专利转让搜索 |
应用场景：微电子器件制造中的导电柱直接成型;集成电路封装中的互连结构制备
摘 要：本发明提供了一种导电柱的激光形成方法，其利用激光对导电柱的第二端进行局部退火工艺，以形成具有保形功能和防止漏电功能的金属硅化物层，然后再进行刻蚀形成露头结构。后续在导电柱的第二端形成焊球时，该金属硅化物的硅材料进入焊球中可以保证焊球的接合可靠性且能够抑制氧化。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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