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发明专利
已授权
一种集成电路全抗静电基座
📄 申请号:CN202110378364.3
📄 发布日:2026/05/20
著录项目信息
申请日
2021-04-08
公开号
CN113257793B
公开日
2022-09-06
申请人
武汉芯宝科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L23_60
IPC 分类号
H01L23_60
,
H01L23_498
,
技术画像
所属领域
集成电路制造
集成电路制造
静电防护
电子封装
应用场景
集成电路封装, 芯片静电防护, 半导体器件制造, 电子元器件装配
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摘要
本发明涉及集成电路技术领域,具体涉及一种集成电路全抗静电基座。包括针状电极、导电环、接地线、绝缘填充体和接地外环,针状电极为电压诱变阻膜包线,针状电极阵列分布于所述接地外环内,每行针状电极均垂直设有一条接地线,每个针状电极上均紧密套固有一个导电环,导电环与接地线导电连接,接地线两端与所述接地外环导电连接,接地外环与针状电极、导电环、接地线之间通过绝缘填充体密封固定,每个针状电极的两端均不低于所述绝缘填充体的表面。将可能进入芯片的超过300V的高压脉冲提前吸收并钳位在一个较低的电压,节省了在芯片内部大量的用于制作静电防护的晶园面积,从而大大提高晶园利用率,在降低芯片成本的同时又使芯片的安全性得到充分的保障。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
多层瞬变高压脉冲能量吸收双对称矩阵板和电路板及其制造方法
当前第 / 件
一种集成电路全抗静电基座制作方法
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