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本发明涉及一种应用分形理论的接地屏蔽结构。现有的片上螺旋电感、变压器由于产生交变的电磁场，会在衬底引起感应电流，产生能量损耗，降低了电感值和Q值。本发明的屏蔽结构位于线圈绕成的电感/变压器的中心部分，采用底层薄的金属层M1和M2，通过分形理论的自相似和迭代原理在H形和十字形的基本单元的基础上，构造一阶、二阶、三阶、甚至更高阶的图案接地屏蔽层。本发明有效的屏蔽掉渗透到衬底的电磁场，降低可在衬底和衬底表面区域产生的感应电流，达到降低衬底能量损耗和提高了电感值和品质因数的作用。

本发明涉及一种应用分形理论的PFS（PatternedFloatShield）结构。现有的片上螺旋电感、变压器由于产生交变的电磁场，会在衬底引起感应电流，产生能量损耗，降低了电感值和Q值。本发明的PFS位于电感、变压器和衬底之间，采用底层薄的金属层，通过自相似和迭代原理进行构造，最后由一条条的相互垂直的金属条合并构成分形结构。本发明有效的屏蔽掉衬底的电磁场效应，降低衬底的损耗，提高了电感值和品质因数。

本发明公开了一种适用于功率半导体器件的抗单粒子烧毁结构，包括外延层，所述外延层第一主面设有有源区和栅极结构，所述有源区和栅极结构上设有栅极金属层；所述外延层第二主面设有衬底层，所述衬底层上设有漏极金属层；所述有源区与所述衬底层之间的外延层形成漂移区；所述有源区设有纵向深沟槽，所述深沟槽内设有源极金属层；所述源极金属层底部设有P型区；本发明在器件关闭状态下由重离子引起的瞬态电流主要通过深沟槽电极进行泄放，大幅度降低作用于寄生BJT的瞬态电流，使寄生BJT难以导通，从而有效提高了功率半导体器件的抗SEB性能；而深沟槽电极的引入不会对器件沟道区及反向耐压区域产生任何影响，因此器件的基本电学特性不受任何影响。