本发明涉及一种应用分形理论的PGS结构。现有的片上螺旋电感、变压器由于产生交变的电磁场,会在衬底引起感应电流,产生能量损耗,降低了电感值和Q值。本发明的PGS位于线圈绕成的电感/变压器的中心部分,采用底层薄的金属层,通过分形理论的自相似和迭代原理在H形的基本单元和十字形的基本单元的基础上,构造一阶、二阶、三阶、甚至更高阶的图案接地屏蔽层。本发明有效的屏蔽掉渗透到衬底的电磁场,降低可在衬底和衬底表面区域产生的感应电流,达到降低衬底能量损耗和提高了电感值和品质因数的作用。
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📂 H01L23_58
👤 杭州电子科技大学
📅 2012-06-29