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一种芯片凸点亚微米缺陷在线检测方法

Name: 一种芯片凸点亚微米缺陷在线检测方法
Brand: 无锡城市职业技术学院
SKU: 2026100044182
Availability: InStock

📄 申请号：CN202610004418.2 📄 发布日：2026/11/03

著录项目信息

申请日

2026-01-05

公开号

CN121861003B

公开日

2026-10-23

申请人

无锡城市职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06T7_00

IPC 分类号

G06T7_00 , G06T3_4007 , G06T3_4046 , G06T3_4053 , G06N3_0464 , G06N3_0475 , G06N3_0985 ,

技术画像

所属领域

半导体缺陷检测半导体缺陷检测机器视觉图像识别

应用场景

半导体制造, 芯片封装, 在线质量控制, 先进封装, 晶圆检测

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摘要

本发明涉及芯片检测技术领域，尤其涉及一种芯片凸点亚微米缺陷在线检测方法，包括利用仿真模型生成凸点亚微米的仿真图像；利用改进ESRGAN模型对仿真图像进行超分辨率处理；对超分辨率图像进行物理自监督增广；利用增广图像与产线图像构建混合图像；将混合图像输入元学习模型中，输出缺陷类型；利用级联网络输出缺陷位置。本发明解决现有超分图像处理亚像素缺陷形态失真、缺陷图像检测泛化性能差问题。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN121861003B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：7 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

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