实用新型已授权

螺旋线性硅漂移探测器

📄 申请号：CN202122153516.8 📄 发布日：2026/09/11

著录项目信息

申请日

2021-09-07

公开号

CN216161750U

公开日

2022-04-01

申请人

湖南正芯微电子探测器有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L31_0224

IPC 分类号

H01L31_0224 , H01L31_115 , H01L31_18 , G01T1_24 , G06F30_17 ,

技术画像

所属领域

半导体探测器半导体探测器硅漂移探测器辐射探测

应用场景

X射线能谱分析, X射线荧光分析, 材料成分分析, 医学成像, 空间探测

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摘要

本实用新型公开了一种螺旋线性硅漂移探测器，所述探测器包括长方体状的硅基底，硅基底顶面相对的两边缘处均设有收集阳极，收集阳极间设有链条状的正面漂移阴极，正面漂移阴极呈S形排布在硅基底上，硅基底底部设有反面漂移阴极，反面漂移阴极和收集阳极上附着有铝层，硅基底和正面漂移阴极顶部设有二氧化硅层，正面漂移阴极两端和中间的二氧化硅层被刻蚀掉，其上附有铝层；本实用新型能够自主分压，使用方便，有效探测面积较大，电荷收集效率、能量分辨率和灵敏度较好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

硅漂移探测器与放大器的制冷封装结构

当前第 / 件

一种多段式阳极等间距分布的硅漂移室探测器

同领域国内专利 · IPC: (H01L31_0224)

H01L31_02 H01L31_0203 H01L31_0216 H01L31_0224 H01L31_0232 H01L31_0236 H01L31_0264 H01L31_0304 H01L31_032 H01L31_0336 H01L31_0352 H01L31_0392 H01L31_04 H01L31_043 H01L31_0445 H01L31_048 H01L31_049 H01L31_05 H01L31_052 H01L31_054 H01L31_055 H01L31_056 H01L31_068 H01L31_07 H01L31_072 H01L31_0725 H01L31_078 H01L31_08 H01L31_09 H01L31_101 H01L31_102 H01L31_103 H01L31_105 H01L31_107 H01L31_108 H01L31_109 H01L31_111 H01L31_112 H01L31_113 H01L31_115 H01L31_18 H01L31_20 覆盖42个领域

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