本发明提供了一种硫化钼/铌酸锂复合型光收发器件及制备方法,包括单晶LiNbO3,形成于单晶LiNbO3表面的层状MoS2层,与MoS2层部分重叠的p型材料层,以及电极,所述电极放置于单晶LiNbO3,MoS2层、p型材料以及MoS2层与p型材料重叠部分的上方或者包括p型硅基衬底,HfO2层,MoS2二维材料层,LiNbO3晶态薄膜与电极,所述HfO2层部分覆盖硅基衬底,所述MoS2二维材料层与所述HfO2层部分重叠,所述LiNbO3晶态薄膜设置于MoS2二维材料层和HfO2层重叠部分上。本发明采用LiNbO3来增强MoS2二维材料的光电性能,可以降低工艺成本;相比传统的调制器,用MoS2/LiNbO3复合型光收发器插损降低,对硅的依赖性降低,无需控制硅成分严格控制,只要通过异质结堆叠步骤,可以获得低功耗、小体积的光收发器。
📄 2021107543117
📂 H01L31_103
👤 杭州电子科技大学
📅 2021-07-02
本发明提供了一种电容式光电探测器包括:第一电极;第二电极,与所述第一电极相对设置;光吸收层,设置于所述第一电极与所述第二电极之间;绝缘层,设置于所述第一电极与所述光吸收层以及所述第二电极与所述光吸收层之间,并覆盖所述光吸收层;基于本发明,通过绝缘材料隔断两个电极,使之内部无法形成回路,使得外部加电压的情况下,电容式光电探测器内部暗电流为零,从而减小了系统的误码率,有效的提高了器件的工作频率。
📄 2018112530350
📂 H01L31_103
👤 三明学院
📅 2018-10-25