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摘 要:本发明提供了一种可编程熔丝结构,包括:衬底;在所述衬底上表面的浅沟槽隔离结构,所述浅沟槽隔离结构的顶面高于所述衬底的上表面;位于浅沟槽隔离结构中的一可编程熔丝,所述可编程熔丝包括两第一电极、分别连接两第一电极的两个第一垂直部分以及连接两个第一垂直部分的第一水平部分;其中,两第一电极位于所述浅沟槽隔离结构的上表面的两端,两个第一垂直部分沿着所述浅沟槽隔离结构的深度方向具有第一长度,所述第一水平部分被浅沟槽隔离结构的隔离材料覆盖,且在所述浅沟槽隔离结构中具有第一深度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201611096971.6 | 专利名称: | 一种可编程熔丝结构 |
申请日: | 2016-12-02 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L23/525搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
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日期 | 法律信息 | 备注 |