发明专利已授权

基于亚波长光栅的谐振增强型紫外光探测器及制备方法

📄 申请号：CN201611074873.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-11-28

公开号

CN106684198A

公开日

2017-05-17

申请人

聊城大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_09

IPC 分类号

H01L31_09 , H01L31_18 , H01L31_0232 ,

技术画像

所属领域

紫外光探测光电子器件微纳光学紫外探测技术光探测器亚波长光栅紫外光探测

应用场景

紫外光检测, 光通信, 环境监测, 军事预警, 生物医学检测

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摘要

本发明提供一种基于亚波长光栅的谐振增强型紫外光探测器及制备方法，该紫外光探测器包括衬底、亚波长光栅层、外延层，所述外延层上设有n型接触电极和p型接触电极，所述亚波长光栅层图案为周期性或非周期性光栅图案；利用蓝宝石材料具有较大折射率的特点，获得与CMOS工艺兼容的纳米尺度高折射率差的亚波长光栅；在宽光谱范围内实现高量子效率：利用亚波长光栅的宽光谱光反射特性，使入射光通过吸收区后被亚波长光栅反射，再次通过器件吸收区，实现吸收增强，提高器件的量子效率，同时获得覆盖光纤通信长波长低损耗窗口的宽光谱响应(大于400nm)；并且本发明器件及其制备过程成本低，工艺简单，易于实现。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：26 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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