发明专利已授权

叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法

📄 申请号：CN201711275941.6 📄 发布日：2026/01/07

著录项目信息

申请日

2017-12-06

公开号

CN108257731B

公开日

2020-03-31

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_0224

IPC 分类号

H01L31_0224 , H01B13_00 , C23C14_35 , C23C14_18 , C23C14_58 ,

技术画像

所属领域

透明电极透明电极金属网格激光加工

应用场景

触控屏, 显示器件, 太阳能电池, 电磁屏蔽, 柔性电子

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摘要

本发明提供了一种叠加式金属网格型透明电极的制备方法，首先通过磁控溅射镀膜仪在衬底表面溅射一层金属，然后利用激光束按照EZCAD绘制的阵列在金属/衬底表面进行去除，最后用吸耳球吹去表层的飞溅物，即可得到叠加式金属网格型透明电极。本发明操作简单，对设备无特殊要求，制备成本低。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种FTO薄膜表面选择性一步制备波纹结构的方法

当前第 / 件

提高金属网格边缘质量及其性能的激光扫描去除方法

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