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本发明公开了利用化学热处理在金属表面制备陶瓷多层膜的方法。首先在需要表面强化的金属基体表面利用物理气相沉积方法制备具有碳化物或氮化物或氮化物形成能力的金属/金属多层膜；然后对样品进行高温热处理，促进金属元素层间互扩散；最后对样品进行渗碳处理或渗氮处理处理或者渗氮处理，随着碳或氮向内扩散并与金属反应，使金属/金属多层膜转变为碳化物/碳化物氮化物/氮化物多层膜。最终在基体表面形成陶瓷/陶瓷多层膜。与现有方法相比，本发明方法能够促进层间界面的金属元素互扩散，形成具有冶金结合的高强度层间界面和膜基界面，显著提高膜层的综合力学性能。

一种施加预应力促进银合金薄膜表面析出银颗粒的方法，将银合金薄膜以膜面朝上的方式两端固定，中部用向上凸起的凸模顶起，从而对银合金薄膜施加预应力，然后在真空炉内或气氛保护炉内加热退火，以增大残余压应力，促进薄膜原子扩散，从而增加银合金薄膜表面形成的银颗粒数量。本发明通过对柔性基体上银合金薄膜施加预应力并进行退火处理调控银合金薄膜的原子扩散行为，促进银颗粒形成的方法，为获得大比表面积柔性聚酰亚胺基体银合金颗粒薄膜器件提供了技术支撑。施加预应力的大小可以根据需要通过调整模具进行调控，能有效促进退火过程中银合金薄膜表面银颗粒的形成，获得具有大比表面积的柔性基体银合金颗粒复合膜。