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已授权
集成装置及其制备方法
📄 申请号:CN201980004321.X
📄 发布日:2025/11/12
著录项目信息
申请日
2019-09-06
申请人
深圳市汇顶科技股份有限公司
法律状态
已下证
专利类型
主分类号
H01L23_498
IPC 分类号
技术画像
所属领域
集成器件
集成器件
器件制造
微纳加工
应用场景
电子设备, 半导体器件, 传感器, 微机电系统, 集成电路制造
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摘要
提供一种集成装置及其制备方法,所述集成装置包括:基板,所述基板的上表面设置有至少一个第一焊盘;硅层,所述硅层设置在所述基板的上方,所述硅层设置有至少一个导电结构,所述至少一个导电结构分别对应所述至少一个第一焊盘;第一绝缘层,所述第一绝缘层设置在所述硅层的上方,所述第一绝缘层内设置有第一布线层,所述至少一个第一焊盘分别通过所述至少一个导电结构连接至所述第一布线层。基于以上技术方案,能够有效降低所述集成装置的厚度和成本。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
电容器及其制作方法
当前第 / 件
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