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已授权
电容器及其制作方法
📄 申请号:CN201980001219.4
📄 发布日:2026/07/13
著录项目信息
申请日
2019-07-03
公开号
CN112449725B
公开日
2023-01-20
申请人
武汉迅知云科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
主分类号
H01L23_64
IPC 分类号
H01L23_64
,
H01L21_02
,
技术画像
所属领域
电容器
电容器
电容器制造工艺
电介质材料
应用场景
消费电子, 通信设备, 新能源汽车, 工业自动化, 电力系统
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摘要
本申请实施例提供一种电容器及其制作方法,电容器包括:半导体衬底,包括至少一个衬底沟槽组;至少一个叠层结构,每个叠层结构包括n层导电层和m层电介质层,n层导电层中的第一层导电层设置于半导体衬底上方和衬底沟槽组内,n层导电层中的第i层导电层形成有第i导电层沟槽组,n层导电层中的第i+1层导电层设置于第i层导电层的上方和第i导电层沟槽组内,m、n、i为正整数,且n≥2,1≤i≤n‑1;至少一个第一外接电极,电连接至n层导电层中的一部分导电层;至少一个第二外接电极,电连接至n层导电层中的另一部分导电层,一部分导电层中的每层导电层在叠层结构中相邻的导电层包括有另一部分导电层中的至少一个导电层。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250822
?? 专利权的转移 :
20230120
✅ 授权
20210323
?? 实质审查的生效 :
20210305
📄 公开
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议价
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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