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已授权
半导体结构及其制作方法
📄 申请号:CN201980000338.8
📄 发布日:2025/11/12
著录项目信息
申请日
2019-03-06
申请人
深圳市汇顶科技股份有限公司
法律状态
已下证
专利类型
主分类号
H01L23_64
IPC 分类号
技术画像
所属领域
半导体器件
半导体器件
半导体制造工艺
集成电路
应用场景
消费电子, 数据中心, 通信设备, 工业控制, 汽车电子
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摘要
本申请提供一种半导体结构及其制作方法,能够制作非直线型的沟槽结构,可以在不增大深宽比且维持占地面积不变的情况下,提升沟槽结构表面积。该半导体结构包括:衬底,包括相对设置的上表面和下表面;至少一个沟槽结构,设置于所述衬底,并自所述上表面向下形成;其中,所述沟槽结构在所述上表面的投影形成曲线型或者折线型的第一图案,所述第一图案包括彼此相邻的n个第二图案,所述n个第二图案中奇数位的第二图案相同,且偶数位的第二图案相同,n为正整数。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
具有差分架构的2T2R阻变式存储器、MCU及设备
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📌 交易状态:
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