发明专利已授权

一种自驱动光电探测器及其制备方法

📄 申请号：CN202111201460.7 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2021-10-15

公开号

CN114023844A

公开日

2022-02-08

申请人

广州诚毅科技咨询有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_108

IPC 分类号

H01L31_108 , H01L31_0352 , H01L31_0336 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

光电探测器光电探测器光电子器件半导体器件

应用场景

光通信, 环境监测, 成像传感, 工业检测, 生物医学检测

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摘要

本发明公开了一种自驱动光电探测器及其制备方法，该自驱动探测器通过在n型半导体层和p型石墨烯层之间并排设置一绝缘层和隧穿层，其中绝缘层的厚度大于隧穿层的厚度，绝缘层阻隔n型半导体层与石墨烯层的接触；n型半导体层与石墨烯层之间形成肖特基结构的空间电荷区，利于电子与空穴快速分离，同时隧穿层修复了n型半导体层与石墨烯层之间的缺陷，抑制漏电，提高光电流，第一电极设置于绝缘层上方的石墨烯层上，第二电极设置于n型半导体层上，电子与空穴最终在第一电极和第二电极处被收集。该自驱动光电探测器的暗电流低、响应速度快、开/关电流比高，不需要外加电源工作，综合性能好，并且器件结构简单，易于制造。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240524

⏳ 专利申请权的转移：

20240809

✅ 授权

20220225

?? 实质审查的生效：

20220208

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：98 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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