发明专利 已授权

一种基于石墨烯的光电探测器

📄 申请号:CN201910614105.9 📄 发布日:2026/06/22

著录项目信息

申请日
2019-07-09
公开号
CN110379871B
公开日
2021-10-22
申请人
三明学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光通信, 光电传感, 生物医学成像, 环境监测

摘要

本发明提供了一种基于石墨烯的光电探测器,包括:氧化物衬底层;硅波导层,形成于所述氧化物衬底层上;其中,所述硅波导层包括矩形硅波导以及微环形硅波导,所述微环形硅波导设置于所述矩形硅波导的第一侧,并与所述矩形硅波导形成微环谐振腔结构;石墨烯层,设置于所述硅波导层上,并覆盖所述矩形硅波导以及所述微环形硅波导;第一金属电极,设置于所述硅波导层的覆盖有所述石墨烯层的一侧,并位于所述石墨烯层上;第二金属电极,设置于所述硅波导层的未设置有所述石墨烯层的另一侧。本发明能在不延长吸收长度以及不影响带宽的前提下提高光电探测器的响应度。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20211022
✅ 授权
20200211
?? 实质审查的生效 :
20191025
📄 公开

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