摘要
本发明提供了一种基于石墨烯的光电探测器,包括:氧化物衬底层;硅波导层,形成于所述氧化物衬底层上;其中,所述硅波导层包括矩形硅波导以及微环形硅波导,所述微环形硅波导设置于所述矩形硅波导的第一侧,并与所述矩形硅波导形成微环谐振腔结构;石墨烯层,设置于所述硅波导层上,并覆盖所述矩形硅波导以及所述微环形硅波导;第一金属电极,设置于所述硅波导层的覆盖有所述石墨烯层的一侧,并位于所述石墨烯层上;第二金属电极,设置于所述硅波导层的未设置有所述石墨烯层的另一侧。本发明能在不延长吸收长度以及不影响带宽的前提下提高光电探测器的响应度。