发明专利已授权

一种复合陶瓷靶的制造设备

📄 申请号：CN201811023240.8 📄 发布日：2026/02/05

著录项目信息

申请日

2018-09-04

公开号

CN109231997B

公开日

2021-10-12

申请人

房孝兰

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C04B35_622

IPC 分类号

C04B35_622 , C04B35_626 , C04B35_624 , C04B35_645 ,

技术画像

所属领域

靶材制造设备靶材制造设备真空热压烧结设备粉末压制设备

应用场景

半导体制造, 平板显示器件, 薄膜太阳能电池, 磁控溅射镀膜, 真空镀膜

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摘要

本发明属于陶瓷靶材制备技术领域，具体涉及一种复合陶瓷靶的制造设备，包括底板、放置区一、称量系统、以及设置在底板上的液相成胶系统、液相干胶系统、固相混合系统、固相成相系统、热压烧结系统；所述放置区一设置在底板一端，所述称量系统为两个，分别设置在液相成胶系统和固相混合系统上；本发明的复合陶瓷靶的制造设备可制备复合型陶瓷靶，可实时把控产品质量，产品级别高，降低了生产成本，多道制备工序同时进行，自动化程度高，生产周期短，产量高，有利于复合陶瓷靶批量生产。本发明的设备可以制备同种类两面质量不同的复合陶瓷靶或不同种类且两面质量不同的复合陶瓷靶以满足不同客户不同用途的需要。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211012

✅ 授权

20190219

?? 实质审查的生效：

20190118

📄 公开

一种流水线中双面盖章装置

当前第 / 件

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