专利交易市场

本发明属于陶瓷靶材制备技术领域，具体涉及一种复合陶瓷靶的制造设备，包括底板、放置区一、称量系统、以及设置在底板上的液相成胶系统、液相干胶系统、固相混合系统、固相成相系统、热压烧结系统；所述放置区一设置在底板一端，所述称量系统为两个，分别设置在液相成胶系统和固相混合系统上；本发明的复合陶瓷靶的制造设备可制备复合型陶瓷靶，可实时把控产品质量，产品级别高，降低了生产成本，多道制备工序同时进行，自动化程度高，生产周期短，产量高，有利于复合陶瓷靶批量生产。本发明的设备可以制备同种类两面质量不同的复合陶瓷靶或不同种类且两面质量不同的复合陶瓷靶以满足不同客户不同用途的需要。