发明专利已授权

一种半导体用导电陶瓷搬运手臂梯度控阻制造方法及由其获得的产品

Name: 一种半导体用导电陶瓷搬运手臂梯度控阻制造方法及由其获得的产品
Brand: 杭州蒲丰视觉检测科技有限公司
SKU: 2026111145257
Availability: InStock

📄 申请号：CN202611114525.7 📄 发布日：2026/11/11

著录项目信息

申请日

2026-07-27

公开号

CN122608392A

公开日

2026-08-21

申请人

杭州蒲丰视觉检测科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C04B35_10

IPC 分类号

C04B35_10 , H10P72_76 , C04B35_582 , C04B35_584 , C04B35_622 ,

技术画像

所属领域

导电陶瓷导电陶瓷梯度功能材料精密陶瓷制造

应用场景

半导体制造, 晶圆搬运, 半导体设备零部件, 洁净室自动化, 精密搬运

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及一种半导体用导电陶瓷搬运手臂梯度控阻制造方法及获得产品。该方法包括：获取搬运手臂三维模型并划分晶圆接触支承区、真空气道邻近区、臂根接地区和边缘绝缘缓冲区，设定目标电阻率；配制多组含导电相陶瓷浆料并建立预测电阻率关系；按目标电阻率反选或插值形成分区浆料，制备带牺牲型芯的梯度坯体；经脱脂、型芯去除和分段气氛共烧结形成连续耗散通路；烧结后进行电阻映射及局部修正，得到具有封闭真空气道和分区电阻率梯度的导电陶瓷搬运手臂。该方法能够兼顾静电缓释、臂根泄放、气道孔缘缓冲和结构可靠性。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN122608392A

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于分数阶干扰观测器的自适应容错控制方法

当前第 / 件

一种基于水力旋流分离的城市河道底泥高效减淤装置

同领域国内专利 · IPC: (C04B35_10)

C04B35_00 C04B35_01 C04B35_04 C04B35_043 C04B35_10 C04B35_101 C04B35_103 C04B35_106 C04B35_14 C04B35_16 C04B35_185 C04B35_195 C04B35_20 C04B35_22 C04B35_26 C04B35_30 C04B35_38 C04B35_40 C04B35_42 C04B35_44 C04B35_443 C04B35_447 C04B35_45 C04B35_453 C04B35_46 C04B35_462 C04B35_465 C04B35_468 C04B35_47 C04B35_472 C04B35_475 C04B35_48 C04B35_488 C04B35_49 C04B35_491 C04B35_495 C04B35_497 C04B35_50 C04B35_505 C04B35_515 C04B35_52 C04B35_524 C04B35_528 C04B35_547 C04B35_553 C04B35_56 C04B35_563 C04B35_565 C04B35_571 C04B35_573 C04B35_577 C04B35_58 C04B35_581 C04B35_582 C04B35_583 C04B35_5831 C04B35_5833 C04B35_5835 C04B35_584 C04B35_587 C04B35_593 C04B35_596 C04B35_597 C04B35_599 C04B35_622 C04B35_626 C04B35_628 C04B35_63 C04B35_632 C04B35_634 C04B35_64 C04B35_66 C04B35_74 C04B35_80 C04B35_81 C04B35_83 覆盖76个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：4 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)