发明专利 已授权

微波闪烧合成碳化硅的方法

📄 申请号:CN202210463925.4 📄 发布日:2026/11/10

著录项目信息

申请日
2022-04-29
公开号
CN114685170B
公开日
2023-05-23
申请人
洛阳理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体材料, 功率器件, 陶瓷材料, 耐火材料, 磨料磨具

摘要

本发明涉及一种微波闪烧合成碳化硅的方法,首先,将硅源和碳源均匀混合,之后,将得到的混合粉体直接置于微波烧结炉中进行微波烧成,或者,将混合后的粉体先进行预成型,之后再置于微波烧结炉中进行微波烧成;微波烧成的过程包括:将微波烧结炉的输入功率升至3KW以上,温度迅速上升到设定温度后,不保温,立即结束烧制,完成微波烧成,合成碳化硅;所述的设定温度不小于600℃。本发明借助微波加热快速、节约能源且保护环境的优势,将硅源和碳源混合后直接在高微波输入功率下一分钟内实现碳化硅的合成,效率极高,且通过本发明方法可制得纯度高的α‑SiC。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:3 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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