发明专利已授权

用于环境感知的硅衬底氮化镓光子集成芯片及其制造方法

📄 申请号：CN202210512124.2 📄 发布日：2026/08/26

著录项目信息

申请日

2022-05-11

公开号

CN114975649B

公开日

2024-07-23

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_0232

IPC 分类号

H01L31_0232 , H01L31_12 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

光子集成光子集成氮化镓半导体光电子器件

应用场景

环境监测, 气体传感, 光通信, 智能传感

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摘要

本发明提出了半导体领域内的一种用于环境感知的硅衬底氮化镓光子集成芯片，以硅衬底氮化物晶圆为载体，包括硅衬底层和氮化物外沿层，所述氮化物外延层的顶层设有发射器和接收器，所述发射器和接收器交替排列并且以阵列形式分布，所述发射器为带有亚波长超构表面的微型光源，所述接收器为带有亚波长超构表面的光电探测器，所述氮化物外延层带有连接发射器的正电极和负电极，所述氮化物外延层带有连接接受器的正电极和负电极，所述硅衬底层与电路板进行引线连接并结合构成芯片整体，本发明体积小，具有高度的集成性，检测精度高，可应用于无接触式光学传感器，提升周围复杂环境感知的准确度并促进无人驾驶、移动机器人等场景的发展。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于多领域统计特征和改进CNN的含噪语音情感识别方法

当前第 / 件

一种基于二阶广义全变分和核范数的动态磁共振成像方法、装置及存储介质

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H01L31_02 H01L31_0203 H01L31_0216 H01L31_0224 H01L31_0232 H01L31_0236 H01L31_0264 H01L31_0304 H01L31_032 H01L31_0336 H01L31_0352 H01L31_0392 H01L31_04 H01L31_043 H01L31_0445 H01L31_048 H01L31_049 H01L31_05 H01L31_052 H01L31_054 H01L31_055 H01L31_056 H01L31_068 H01L31_07 H01L31_072 H01L31_0725 H01L31_078 H01L31_08 H01L31_09 H01L31_101 H01L31_102 H01L31_103 H01L31_105 H01L31_107 H01L31_108 H01L31_109 H01L31_111 H01L31_112 H01L31_113 H01L31_115 H01L31_18 H01L31_20 覆盖42个领域

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