发明专利已授权

基于高阶奇异值分解的硅料熔化进程监测方法

📄 申请号：CN201310413096.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2013-09-11

公开号

CN103489184B

公开日

2017-01-11

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06T7_00

IPC 分类号

G06T7_00

技术画像

所属领域

过程监测过程监测信号处理特征提取

应用场景

光伏产业, 半导体制造, 工业过程控制, 硅料熔化监测

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摘要

基于高阶奇异值分解的硅料溶化进程监测方法，先采用CCD照相机对硅料熔化过程进行实时的图像序列采集；用当前时刻之前的若干二维图像序列构成三维张量（tensor），对该张量进行高阶奇异值分解（HOSVD）得到用于表征之前熔化状态的基图像（Base Images）；然后，对当前硅料熔化所采集的图像与包含主要信息的基图像进行相关性计算，依据相关性的大小判定硅料溶化状态是否改变。本发明监测方法既能在初、中期硅料熔化状态背景较复杂的情况下检测出硅料的状态变化，又能在熔化后期很好区别硅料熔化状态的变化与熔液运动的噪声，实现了对硅料熔化进程的准确、有效监测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20170111

✅ 授权

20140205

?? 实质审查的生效：

20140101

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：46 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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