发明专利已授权

一种网格化的多晶硅微纳加工装置及方法

📄 申请号：CN201310558211.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2013-11-11

公开号

CN103618026A

公开日

2014-03-05

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_18

IPC 分类号

H01L31_18

技术画像

所属领域

微纳加工微纳加工多晶硅加工半导体制造工艺

应用场景

半导体器件制造, 集成电路制造, 微机电系统, 太阳能电池制造, 平板显示制造

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摘要

本发明公开了一种网格化的多晶硅微纳加工装置及方法。目前制备多晶硅太阳电池的减反射层效果欠佳。本发明中超声波发生器控制器的输出端通过换能器与变幅杆的尾部螺纹连接，变幅杆的头部与平面超声工具头的尾部螺纹连接；每个平面超声工具头的头部均伸入反应观察室内；反应观察室与每个平面超声工具头相对的内侧壁处分别固定设置有一块声波反射板；反应容器设置在反应观察室内。本发明的多晶硅微纳加工方法步骤为：将混合酸液注入反应容器，驱动平面超声工具头形成超声驻波，将多晶硅材料放入反应容器中进行制备，制备完后置于去离子溶液中清洗，封装。本发明可提高多晶硅表面减反效果，从而提高多晶硅光伏电池光电转化效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：24 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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