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本发明公开了一种网格化的多晶硅微纳加工装置及方法。目前制备多晶硅太阳电池的减反射层效果欠佳。本发明中超声波发生器控制器的输出端通过换能器与变幅杆的尾部螺纹连接，变幅杆的头部与平面超声工具头的尾部螺纹连接；每个平面超声工具头的头部均伸入反应观察室内；反应观察室与每个平面超声工具头相对的内侧壁处分别固定设置有一块声波反射板；反应容器设置在反应观察室内。本发明的多晶硅微纳加工方法步骤为：将混合酸液注入反应容器，驱动平面超声工具头形成超声驻波，将多晶硅材料放入反应容器中进行制备，制备完后置于去离子溶液中清洗，封装。本发明可提高多晶硅表面减反效果，从而提高多晶硅光伏电池光电转化效率。

本发明公开了一种制备周期减半的亚微米光栅的方法，涉及光学、微细加工、先进制造等领域，它解决了现有的光栅复制技术只能进行1:1光栅复制的问题，本发明利用一块亚微米母光栅制备出了周期减半的亚微米子光栅。本发明的方法为：首先制备出亚微米母光栅的PDMS软模板，同时在干净的基片上制备出所要使用的材料薄膜；然后将亚微米母光栅的PDMS软模板与准备好的材料薄膜紧密贴合，再将两者整体置于加热板上加热5分钟，加热温度要高于所用薄膜材料的玻璃化转变温度；最后将两者从加热板上取下并冷却至室温，分离基片和PDMS软模板，便在基片上制备出了周期减半的亚微米子光栅。本发明适用于亚微米光栅的制备领域。

本发明提供一种硅微/纳米柱的制备方法，属于硅微/纳米结构的制备技术领域。本方法包括如下步骤：(1)从磨抛好的块体硅样品中利用FIB电镜提取用于加工微/纳米柱的初始坯料；(2)利用FIB电镜加工圆台型粗坯；(3)借助FIB电镜，使用环形加工图案对圆台型粗坯进行粗加工，获得硅微/纳米柱粗坯；(4)保持环形加工图案内径不变，逐渐增加其外径进行精加工，确保直径符合需求；(5)利用FIB电镜削平硅微/纳米柱顶部，确保高度符合需求；(6)去除加工过程引入的非晶层。采用本发明的技术方案，可制备尺寸精度高、加工锥度小的硅微/纳米柱，所制备的硅微/纳米柱直径偏差不大于10％，锥度小于10°。所得硅微/纳米柱可用作原位电镜力学测试样品。

本发明涉及一种导电微结构的制备方法和系统，该方法首先对油墨和基底进行预处理，并设定打印设备的喷墨打印参数；然后对所述油墨进行固化烧结预实验，得到所述油墨的自组装曲率半径与温度的关系函数，从而确定打印点间距；再根据所述打印点间距将所述油墨沉积到基底印层上进行单层打印，得到单层打印图案；再对所述单层打印图案进行恒温烧结，根据所述单层打印图案的烧结状态，利用多重电流激励装置对所述单层打印图案进行多重电流激励；最后重复单层打印的过程，进行多层打印，得到多曲线、高透明度的导电微结构。