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发明专利
已授权
一种带有深N阱的NP型CMOS雪崩光电二极管
📄 申请号:CN201410122853.2
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2014-03-28
申请人
南京模数智芯微电子科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L31_107
IPC 分类号
H01L31_107
,
H01L31_0352
,
技术画像
所属领域
雪崩光电二极管
雪崩光电二极管
CMOS图像传感器
半导体光电器件
应用场景
光通信, 激光雷达, 单光子探测, 医疗成像, 工业检测
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摘要
本发明公开了一种带有深N阱的NP型CMOS雪崩光电二极管,包括P型衬底、设置于P型衬底上的N阱层及雪崩区,所述雪崩区设置于所述P型衬底和N阱之间构成PN结,在P型衬底和雪崩区之间还设置有光吸收层,所述光吸收层为设置于P型衬底层上的深N阱,所述深N阱的掺杂浓度大于P型衬底层的掺杂浓度;本发明提高了雪崩光电二极管器件的速率、频率响应和带宽。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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