摘要
本发明涉及太阳能电池领域,公开了一种用于硅太阳电池的ZnO减反射薄膜及其镀膜方法。该反射薄膜制备方法为:将硝酸锌,乙酰丙酮锌和乙醇在20‑60℃下混合并进行反应,陈化20‑28h后形成氧化锌溶胶,然后将氧化锌溶胶涂覆在硅片表面形成连续薄膜,即为ZnO减反射薄膜。本发明的ZnO减反射薄膜的制备方法简单快捷、易控制,可操作性强,在镀膜时,无需大型真空设备,无需高高温退火,可在较低温度下、空气中大面积制备,能够降低对硅太阳能电池的热损坏程度,制备成本低廉。并且制得的ZnO减反射薄膜同时兼具光透过率高、电阻率较低、防污性能好的优点。