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本发明涉及太阳能电池领域，公开了一种用于硅太阳电池的ZnO减反射薄膜及其镀膜方法。该反射薄膜制备方法为：将硝酸锌，乙酰丙酮锌和乙醇在20‑60℃下混合并进行反应，陈化20‑28h后形成氧化锌溶胶，然后将氧化锌溶胶涂覆在硅片表面形成连续薄膜，即为ZnO减反射薄膜。本发明的ZnO减反射薄膜的制备方法简单快捷、易控制，可操作性强，在镀膜时，无需大型真空设备，无需高高温退火，可在较低温度下、空气中大面积制备，能够降低对硅太阳能电池的热损坏程度，制备成本低廉。并且制得的ZnO减反射薄膜同时兼具光透过率高、电阻率较低、防污性能好的优点。

本发明涉及硬质涂层材料制备领域，具体涉及一种具有高服役寿命的宽温域自润滑纳米结构薄膜材料，所涉及的纳米结构薄膜为多元多层结构，由三种调制层构成；一调制层为自润滑层，具有纳米胶囊结构，其中胶囊核为C和Ag，胶囊壳为非晶Al2O3；另一调制层为硬质层，是面心立方的TiN；还一调制层为梯度层，其位于自润滑层和硬质层之间，由非晶Al2O3和面心立方TiN构成。本发明的有益效果为：其由非晶氧化物外壳包裹润滑组元内核，纳米胶囊壳有效避免润滑组元的过度消耗；为避免宽温域摩擦服役过程中发生层间剥离，提升薄膜耐磨损性能；薄膜材料能够获得的最高硬度为24GPa，在室温到900℃环境下的摩擦系数大致稳定在0.4‑0.6之间，且可在室温到高温环境下重复多次服役。

一种用于制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列，由铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲组成，所述气体脉冲序列通入真空反应腔中；化学吸附反应在真空反应腔中进行，铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲按照一定的次序依次通入真空反应腔中。通过采用本发明的制备BiGaO3薄膜材料的方法，可以实现BiGaO3薄膜生长厚度的精确可控，且BiGaO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。

本实用新型公开了一种用于卷装薄膜材料的高速复合设备，包括设置在地面上的支架，所述支架的上端面固定连接有放置箱，所述支架上转动连接有两个放布辊，上端所述放布辊上绕卷有薄膜本体，下端所述放布辊上设有复合层，所述支架的左端通过转轴转动连接有收布辊，所述支架上设有装有胶的储胶箱，所述支架上设有用于将薄膜本体与复合层粘连在一起的打胶机构，所述放置箱的上端面设有用于导向薄膜本体的导向机构，所述放置箱内设有水箱，所述水箱的上端固定连接有安装板。本实用新型结构合理，其能够进行自动上胶，自动将胶铺平，同时还可以进行胶的快速冷却。