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发明专利
已授权
一种绒面透明导电薄膜及其制备方法
📄 申请号:CN201711162186.0
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2017-11-21
公开号
CN107994098B
公开日
2019-12-24
申请人
贵港市亿诺智恒新材料科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L31_18
IPC 分类号
H01L31_18
,
H01L31_0224
,
H01L31_0236
,
技术画像
所属领域
透明导电薄膜
透明导电薄膜
薄膜制备工艺
绒面结构
应用场景
太阳能电池, 触摸屏, 平板显示, 透明电极, 发光二极管
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摘要
本发明公开了一种绒面透明导电薄膜,以石英玻璃为基底,在基底上依次沉积有Pt层、TiO2薄膜层及FTO薄膜层,形成的FTO/TiO2/Pt复合薄膜作为薄膜太阳电池的前电极;其制备方法为,在不高于100℃的条件下采用磁控溅射技术,在石英玻璃衬底上沉积Pt层;制备喷涂液A;通过喷雾热解工艺将喷涂液A喷涂在Pt层上得到TiO2薄膜层,对制备的TiO2薄膜层进行退火处理,得到缓冲层;制备喷涂液B;通过喷雾热解工艺将喷涂液B喷涂在缓冲层上得到FTO薄膜层,最后退火处理。本发明制备的薄膜与单一的TCO薄膜相比,其雾度明显提高,导电性能良好,光学透过率高,适用于太阳能电池前电极透明导电薄膜的要求。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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