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发明专利
已授权
一种四元共蒸AIGS薄膜及其制备方法和应用
📄 申请号:CN201810615945.2
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-06-14
公开号
CN108831939B
公开日
2020-04-07
申请人
河南金为信新能源科技开发有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L31_0392
IPC 分类号
H01L31_0392
,
H01L31_0445
,
H01L31_18
,
技术画像
所属领域
薄膜太阳能电池
薄膜太阳能电池
化合物半导体薄膜
真空蒸镀工艺
应用场景
光伏发电, 薄膜太阳能电池, 太阳能电池光吸收层
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摘要
本发明公开了一种四元共蒸AIGS薄膜,包括玻璃基底、沉积在玻璃基底上的金属Mo背电极以及共蒸在Mo背电极上的吸收层;所述吸收层为一步法四元共蒸Ag、In、Ga、Se形成的AIGS薄膜层。本发明还公开了四元共蒸AIGS薄膜的制备方法以及AIGS薄膜太阳能电池。采用一步法,通过控制蒸发源材料蒸气压对薄膜的生长过程进行精确的控制,提高效率和薄膜的均匀性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20260210
?? 专利权的转移 :
20260130
?? 专利权的转移 :
20200407
✅ 授权
20181211
?? 实质审查的生效 :
20181116
📄 公开
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