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发明专利
已授权
一种高转换增益和低串扰的像素探测器
📄 申请号:CN201910062429.6
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2019-01-23
公开号
CN109904272B
公开日
2021-02-09
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L31_101
IPC 分类号
H01L31_101
,
H01L31_0352
,
技术画像
所属领域
像素探测器
像素探测器
图像传感器
光电探测器
应用场景
数字成像, 医疗影像设备, 工业检测, 安全监控与安检, 科学探测
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摘要
本发明公开了一种高转换增益和低串扰的像素探测器,包括:低阻硅层(电路层)、埋氧层、高阻n型衬底、背部电极、n+探测阱、n+探测阱读出电极、埋p阱引出电极、埋p阱、背部深埋p阱;本发明可以有效抑制背栅效应以及传感器与电路之间的串扰;降低全耗尽电压;有效降低电荷收集端的敏感节点电容,提高转换增益。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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