发明专利已授权

一种谐振增强型光探测器及其制备方法

📄 申请号：CN202010619122.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-06-30

公开号

CN111816717A

公开日

2020-10-23

申请人

聊城大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_0232

IPC 分类号

H01L31_0232 , H01L31_105 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

光电子器件光电子器件光探测器谐振增强技术

应用场景

光通信, 光电传感, 激光雷达, 光学成像, 科研检测

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摘要

本发明实施例提供一种谐振增强型光探测器及其制备方法，谐振增强型光探测器包括：由下至上依次形成的第一亚波长光栅层、衬底、第一接触层、吸收层、第二接触层、光栅间隔层以及第二亚波长光栅层，所述第一接触层和所述第二接触层上分别形成有n型接触电极和p型接触电极。该光探测器具有高量子效率、高响应带宽、偏振敏感、可实现角度偏转、制作工艺简单的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于扰动视觉解释的视频异常事件检测方法

当前第 / 件

一种基于随机两步相移的面形检测方法

同领域国内专利 · IPC: (H01L31_0232)

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