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一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器及制备方法

Name: 一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器及制备方法
Brand: 浙江理工大学
SKU: 2022103499317
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210349931.7 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2022-04-02

公开号

CN114709281B

公开日

2024-07-26

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_032

IPC 分类号

H01L31_032 , H01L31_0336 , H01L31_109 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

日盲紫外探测器日盲紫外探测器氧化镓异质结构宽禁带半导体器件

应用场景

紫外探测, 火焰预警, 环境监测, 军事侦测, 高压电晕检测

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摘要

本发明公开了一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器及制备方法，所述探测器依次包括蓝宝石衬底，置于蓝宝石衬底上方的β‑Ga2O3光吸收层，置于β‑Ga2O3光吸收层上方的SSO层，置于SSO层上方的第一测试电极以及置于β‑Ga2O3光吸收层上方的第二测试电极；其中于β‑Ga2O3光吸收层与SSO层，形成β‑Ga2O3/SSO异质结，构成内界电场，以分离光生载流子。所制备的氧化镓基紫外探测器性能稳定，灵敏度高，响应速度快，具有自供电性能可实现对波长小于280nm的日盲紫外光的有效探测，在高压电晕检测领域具有很大的应用前景。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种细菌外膜囊泡包被的具有光热-化疗-免疫功能的纳米粒子的制备方法

当前第 / 件

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