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发明专利
已授权
一种逆阻型氮化镓器件
📄 申请号:CN201710371935.4
📄 发布日:2025/12/10
著录项目信息
申请日
2017-05-24
公开号
CN107170810B
公开日
2020-03-31
申请人
电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L29_47
IPC 分类号
H01L29_47
,
H01L29_778
,
技术画像
所属领域
功率半导体器件
功率半导体器件
氮化镓器件
半导体器件结构
应用场景
电力电子变换, 新能源汽车, 光伏逆变器, 工业电机驱动
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摘要
本发明属于半导体技术领域,具体的说是涉及一种逆阻型氮化镓器件。本发明针对常规的逆阻型AlGaN/GaN异质结高电子迁移率晶体管与传统硅CMOS工艺不兼容以及器件制备温度高等问题,本发明提出了一种无欧姆接触的逆阻型氮化镓器件。本发明所提出的逆阻型氮化镓器件具有与传统硅工艺兼容、可低温制备等优点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种氮化镓横向MIS-肖特基混合阳极二极管
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