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发明专利
已授权
一种低结温高耐压的GaN异质结场效应晶体管
📄 申请号:CN201811592251.8
📄 发布日:2025/12/10
著录项目信息
申请日
2018-12-25
公开号
CN109671768B
公开日
2021-08-17
申请人
电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L29_06
IPC 分类号
H01L29_06
,
H01L29_10
,
H01L29_20
,
H01L29_778
,
H01L23_373
,
技术画像
所属领域
半导体器件
半导体器件
功率电子器件
氮化镓器件
应用场景
电力电子, 5G通信, 新能源汽车, 电源转换, 高功率射频
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摘要
本发明设计功率半导体技术,具体的说是一种低结温高耐压的GaN异质结场效应晶体管。本发明的GaN异质结场效应晶体管,主要为通过在势垒层插入AlN区域来降低沟道峰值电场,进而达到增大耐压和减少散热的目的。另外,本发明采用导热特性良好的AlN作为器件的钝化层,不仅有助于抑制电流崩塌,还起到了加快散热的作用。本发明的优异效果为,提高了器件的反向耐压,改善了器件的输出特性,并降低了器件的沟道温度,从而抑制了电流崩塌和自热效应带来的危害。本发明尤其适用于具有高耐压能力和低沟道温度的GaN异质结场效应晶体管。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20210817
✅ 授权
20190517
?? 实质审查的生效 :
20190423
📄 公开
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