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发明专利
已授权
一种石墨烯/黑磷烯复合薄膜晶体管及制备方法
📄 申请号:CN202110219358.3
📄 发布日:2026/07/22
著录项目信息
申请日
2021-02-27
公开号
CN112909097A
公开日
2021-06-04
申请人
成都市水泷头化工科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L29_786
IPC 分类号
H01L29_786
,
H01L29_10
,
H01L21_336
,
技术画像
所属领域
薄膜晶体管
薄膜晶体管
二维材料
半导体器件
应用场景
集成电路, 显示面板, 柔性电子, 传感器, 光电器件
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摘要
本发明涉及电子材料制备的技术领域,提供了一种石墨烯/黑磷烯复合薄膜晶体管及制备方法。该复合薄膜晶体管是通过先制备氮掺杂石墨烯及氯化重氮苯改性黑磷烯,然后将二者加入去离子水中形成分散液,再将分散液采用交流电泳法在高掺杂硅基片上的源极和漏极之间的沟道中进行沉积,经自然晾干而制得。本发明制得的石墨烯/黑磷烯复合薄膜晶体管结合了石墨烯载流子迁移率高、黑磷烯开关电流比大的优点,并且稳定性好。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250822
?? 专利权的转移 :
20230418
✅ 授权
20230317
⏳ 专利申请权的转移 :
20210910
⏳ 专利申请权的转移 :
20210706
?? 实质审查的生效 :
20210604
📄 公开
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