发明专利已授权

一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管及制备方法

📄 申请号：CN202110219343.7 📄 发布日：2026/07/22

著录项目信息

申请日

2021-02-27

公开号

CN112909096B

公开日

2023-05-09

申请人

陈小红

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L29_786

IPC 分类号

H01L29_786 , H01L21_336 ,

技术画像

所属领域

薄膜晶体管薄膜晶体管氧化物半导体材料透明电子器件

应用场景

显示器件, 透明显示, 柔性电子, 有源矩阵液晶显示, 电子器件制造

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摘要

本发明涉及电子显示材料的技术领域，提供了一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管及制备方法。所述透明薄膜晶体管是以高掺杂硅片为底栅极，以二氧化硅为绝缘层，以氧化锌/氧化镍复合薄膜为半导体沟道材料，以Al为源极和漏极。其中，氧化锌/氧化镍复合薄膜是以六水合硝酸锌、六水合硝酸镍、氨基酸、去离子水组成的前驱体溶液经超声喷雾热解而附着于绝缘层上的。其中，氨基酸为L‑组氨酸或L‑半胱氨酸中的一种。本发明制得的薄膜晶体管的载流子迁移率达到38cm2·V‑1·s‑1以上，并且在正栅偏压应力、负栅偏压应力、自加热应力等电应力作用下均具有良好的稳定性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250822

?? 专利权的转移：

20230509

✅ 授权

20230407

⏳ 专利申请权的转移：

20210910

⏳ 专利申请权的转移：

20210706

?? 实质审查的生效：

20210604

📄 公开

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