发明专利已授权

一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机

Name: 一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机
Brand: 泰州君之华新能源科技有限公司
SKU: 2021111933746
Availability: InStock

📄 申请号：CN202111193374.6 📄 发布日：2025/11/07

著录项目信息

申请日

2021-10-13

公开号

CN114038939B

公开日

2022-11-25

申请人

泰州君之华新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_18

IPC 分类号

H01L31_18 , H01L21_67 , H01L21_687 ,

技术画像

所属领域

光伏制造设备光伏制造设备蚀刻设备晶片加工

应用场景

光伏电池制造, 太阳能电池片生产, 硅片蚀刻, 半导体制造, 新能源制造

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摘要

本发明公开了蚀刻机技术领域的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机，包括防护壳，所述防护壳内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构，所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构；本发明通过在每次对光伏晶片进行双面蚀刻时，利用放置机构将光伏晶片稳定的支撑，并在光伏晶片一面蚀刻完成后，配合转换机构，使放置机构进行转动，放置机构先进行闭合，将光伏晶片进行夹持稳定，避免在转动过程中光伏晶片滑出，且在转换过后，转换机构使放置机构中部打开，避免放置机构干扰蚀刻液蚀刻光伏晶片，保证蚀刻液对光伏晶片的蚀刻效果，快速对光伏晶片双面进行蚀刻。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN114038939B

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一类2-脱氧糖氧苷的合成方法及其在制药中的应用

当前第 / 件

一种基于多种群分层协助进化的基准源结构优化方法

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