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| 专利/申请号： | CN202111193374.6 | 专利名称： | 一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机 |
| 申请日： | 2021-10-13 | 申请/专利权人 | 泰州君之华新能源科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路508号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L31/18 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-11-25 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN114038939B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 半导体制造设备 光伏能源技术 微纳加工技术 湿法 干法蚀刻工艺专利转让搜索 |
应用场景：太阳能电池板生产制造中的晶圆表面精密蚀刻；光伏组件降本增效工艺开发；第三代半导体材料（如碳化硅）的高精度图形化加工；柔性光伏薄膜的大规模量产适配
摘 要：本发明公开了蚀刻机技术领域的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机，包括防护壳，所述防护壳内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构，所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构；本发明通过在每次对光伏晶片进行双面蚀刻时，利用放置机构将光伏晶片稳定的支撑，并在光伏晶片一面蚀刻完成后，配合转换机构，使放置机构进行转动，放置机构先进行闭合，将光伏晶片进行夹持稳定，避免在转动过程中光伏晶片滑出，且在转换过后，转换机构使放置机构中部打开，避免放置机构干扰蚀刻液蚀刻光伏晶片，保证蚀刻液对光伏晶片的蚀刻效果，快速对光伏晶片双面进行蚀刻。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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