发明专利 已授权

一种石英陶瓷坩埚的制作方法

📄 申请号:CN202111578919.5 📄 发布日:2026/05/07

著录项目信息

申请日
2021-12-22
公开号
CN114230323B
公开日
2022-11-18
申请人
东海县太阳光新能源有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光伏硅材料制备, 半导体晶圆制造, 多晶硅铸锭, 单晶硅拉制, 高温熔炼容器

摘要

本发明公开了一种石英陶瓷坩埚的制作方法,包括以下步骤:步骤1,制备石英陶瓷坩埚坯体:将石英砂粉末经过球磨后,以注浆成型的方式制备得到石英陶瓷坩埚坯体;步骤2,制备致密涂层液:称取氮化硅/硅化铌包覆微球与硅溶胶混合均匀,制备得到致密涂层液;步骤3,制备石英陶瓷坩埚:将致密涂层液涂覆于石英陶瓷坩埚坯体的表面,干燥处理后,得到石英陶瓷坩埚。石英砂粉末的粒径为50~100μm,纯度不小于99.99%。本发明制备石英陶瓷坩埚的方法工艺简便,制备得到的石英陶瓷坩埚具有更好的使用性。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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