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发明专利
已授权
一种氧化镓pn异质结二极管
📄 申请号:CN202310346848.9
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2023-04-03
公开号
CN116230743A
公开日
2023-06-06
申请人
重庆理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L29_06
IPC 分类号
H01L29_06
,
H01L29_861
,
技术画像
所属领域
宽禁带半导体材料
宽禁带半导体材料
功率半导体器件
半导体器件结构
应用场景
电力电子, 高频功率转换, 新能源汽车, 光伏逆变器, 工业电源
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摘要
本发明公开了一种氧化镓pn异质结二极管,由下至上为阴极欧姆电极、Ga2O3衬底区、Ga2O3漂移区、双层NiOX P型结终端扩展区、阳极欧姆电极,还包括位于所述双层NiOX P型结终端扩展区和阳极欧姆电极上表面的钝化层;其中,所述双层NiOX P型结终端扩展区由下至上包括第一层轻掺杂NiOX P型结终端扩展区和第二层重掺杂NiOX P型结终端扩展区,所述第二层重掺杂NiOX P型结终端扩展区的宽度与所述阳极欧姆电极宽度一致,所述第一层轻掺杂NiOX P型结终端扩展区的超出所述阳极欧姆电极的部分设置有单级台阶终端或者双级台阶终端。本发明的氧化镓pn异质结二极管具有超高耐压高功率品质等优势。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
基于WiFi的可选配式微型家用尿液干化分析装置及分析方法
当前第 / 件
基于整片晶圆的氧化镍/氧化镓异质结二极管及制备方法
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